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課程名稱 |
超微細加工
ULTRA MICROMACHINING |
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開課學期 |
93-2 |
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授課對象 |
工學院 機械工程學系 |
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授課教師 |
蔡曜陽 |
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課號 |
ME5209 |
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課程識別碼 |
522 U4910 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期四6,7,8(13:20~16:20) |
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上課地點 |
工綜211 |
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備註 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/932micromachining |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
去實現微細機構(micro mechanism)與高密度情報通信裝置(device)等的
微細技術(micro-techanology)可說是此新世紀最熱門的話題。要達到
微細加工的條件不僅是加工單位需微小、機械精度要求高，且其加工的原理
與過去的傳統加工完全不一樣；乃是利用新的物理與化學程序去達成的，
可說是一門新技術的分野。
本課程的設計乃是以機械系的角度去介紹各種微細加工的特色，
以及微細機械的開發應；
學習目標不只在學生對微細加工有更深的認識、也期待能了解新技術的建立原理。
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課程目標 |
1.使學生更深入認識各種微細加工技術的形成及其建構的原理
2.使學生比較各種微細加工技術的特長與未來的發展 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
另約時間 |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期中段考作業 |
60% |
六次作業擇優五次計算 |
2. |
課堂表現 |
10% |
含點名及上課表現 |
3. |
期末報告 |
40% |
簡報發表佔50%
全文報告佔50% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
2/24 |
課程簡介 |
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第2週 |
3/03 |
微細加工導論 |
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第3週 |
3/10 |
微細放電加工及其應用 |
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第4週 |
3/17 |
微細放電加工及其應用 |
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第5週 |
3/24 |
微細銑削加工及微鑽孔 |
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第6週 |
3/31 |
超音波輔助振動微切削 |
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第7週 |
4/07 |
鑽石刀具微切削加工 |
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第8週 |
4/14 |
超精密奈米鏡面加工 |
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第9週 |
4/21 |
奈米級粉體材料之研磨 |
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第10週 |
4/28 |
暫停一次 |
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第11週 |
5/05 |
高密度能量束之微細加工 |
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第12週 |
5/12 |
高密度能量束之微細加工 |
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第13週 |
5/19 |
晶圓的微細加工技術(微影蝕刻) |
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第14週 |
5/26 |
微射出成形 |
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第15週 |
6/02 |
介面反應之微細加工 |
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第16週 |
6/09 |
期末專題口頭發表 |
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第17週 |
6/16 |
微電鑄與LIGA |
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